Для цитирования:

Амбарцумов М.Г., Алтахов А.С., Тарала В.А., Мартенс В.Я., Лисицын С.В. СИНТЕЗ ТОНКИХ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ МЕТОДОМ PEALD ПРИ РАЗЛИЧНЫХ ДЛИТЕЛЬНОСТЯХ ПЛАЗМЕННОЙ ЭКСПОЗИЦИИ. Вестник Северо-Кавказского федерального университета. 2016;(2):7-12.

For citation:

Ambartsumov M., Altakhov A., Tarala V., Martens V., Lisitsyn S. GROWTH OF ALUMINUM NITRIDE THIN FILMS VIA PEALD WITH VARIOUS PLASMA EXPOSITION DURATIONS. Newsletter of North-Caucasus Federal University. 2016;(2):7-12. (In Russ.)