СИНТЕЗ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЁНОК УГЛЕРОДА
Аннотация
В работе представлены результаты синтеза и исследования кристаллических плёнок углерода в MWCVD реакторе Cyranus i6, при использовании фиксированной газовой смеси (Ar/CH4) в диапазоне давлений от 10 до 30 кПа. Синтез осуществлялся из плазмы содержащей в доминирующей концентрации димеры углерода С2. В экспериментах получены разновидности плёнок от микрокристаллических до аморфных без использования водорода.
Ключевые слова
кристаллические плёнки алмаза,
MCD,
NCD,
UNCD,
MWCVD,
crystalline diamond films,
MCD,
NCD,
UNCD,
MWCVD
Об авторах
Виталий Алексеевич Тарала
Северо-Кавказский федеральный университет
Россия
Россия
Андрей Алексеевич Титаренко
Северо-Кавказский федеральный университет
Россия
Россия
Игорь Валерьевич Белашов
Северо-Кавказский федеральный университет
Россия
Россия
Михаил Юрьевич Шевченко
Северо-Кавказский федеральный университет
Россия
Россия
Список литературы
1. Williams O. A. Ultrananocrystalline diamond for electronic applications / Williams O. A., Johnes M., Kim P. // Semicond. Sci. Technol. 2006. № 21. P. 49–56.
2. Eric J. C. Electrical conduction in undoped ultrananocrystalline diamond thin films and its dependence on chemical composition and crystalline structure / J. C.Eric, W. Yan // Journal of applied physics. 2007. № 102. P. 113706.
3. Paul W. M. Attempts to p-Dope Ultrananocrystalline Diamond Films in a Hot Filament Reactor / W. M. Paul, H. Matthew // Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 2007. Vol. 956. P. 456–462.
4. Srinivasan S. Piezoelectric/ultrananocrystalline diamond heterostructures for high-performance multifunctional micro/nanoelectromechanical systems / S. Srinivasan, J. Hiller, B. Kabius, O. Auciello // Applied physics letters. 2007. Vol. 90. P. 134101–134107.
5. Espinosa H. D. Mechanical Properties of Ultrananocrystalline Diamond Thin Films Relevant to MEMS/NEMS Devices / H. D. Espinosa, B. C. Prorok, B. Peng, K. H. Kim, N. Moldovan, O. Auciello, J. A. Carlisle, D. M. Gruen and D. C. Mancini // 2003 Society for Experimental Mechanics. 2003. Vol. 43. No. 3. P. 256–268.
6. Ashok K. Nanocrystalline Diamond Thin Films for MEMS and Biomedical Devices / K. Ashok, S. Bhansali, I. I. Oleynik, T. M. Weller, // NSF NIRT Grant 0404137. University of South Florida. Tampa. P. 33620.
7. Orlando A. Are Diamonds a MEMS’ Best Friend? / A. Orlando, S Pacheco, S. Anirudha V. Sumant, C. Gudeman, S. Sampath, A. Datta, W. Robert // IEEE Microwave magazine. 2007. V. 3. P. 61–75.
8. Mednikarov B. Optical properties of diamond-like carbon and nanocrystalline diamond films / B. Mednikarov, G. Spasov, Tz. Babeva, J. Pirov, M. Sahatchieva, C. Popova, W. Kulischa // Journal of Optoelectronics and Advanced Materials. 2005. Vol. 7. No. 3. P. 1407–1413.
9. Yongqing F. Characterization and tribological evaluation of MW-PACVD diamond coatings deposited on pure titanium / F. Yongqing, Y Bibo, L. Nee-Lam, Q. Chang // Materials Science and Engineering. 2000. Vol. A282. P. 38–48.
10. Adiga V. P. Mechanical stiffness and dissipation in ultrananocrystalline diamond microresonators / V. P. Adiga, A. V. Sumant, S. Suresh, C. Gudeman, O. Auciello, J. A. Carlisle, R. W. Carpick // Physical Review B. 2009. Vol. 79. No. 24. P. 848–861.
11. Piyush B. Ultrananocrystalline diamond film as an optimal cell interface for biomedical applications / B. Piyush, A. Demir, A. Gupta // Biomed Microdevices. 2007. Vol. 9. P. 787–794.
12. Jones A. N. Investigation of the Tribological Properties of Diamond Films / A. N. Jones, W. Ahmed, C. A. Rego // JMEPEG. 2007. Vol. 16. P. 131–134.
13. Kulkarni P. Electrical and photoelectrical characterization of undoped and S-doped nanocrystalline diamond films / P. Kulkarni, L. M. Porter, F. A. M. Koeck // Journal of applied physics. 2008. Vol. 103. P. 084905(1) –084905(9).
14. James B. Morphology and electronic structure in nitrogen-doped ultrananocrystalline diamond / B. James, J. A. Carlisle, A O. Auciello // Applied physics letters. 2002. Vol. 81. No. 12. P. 555–568.
15. Nicolas W. Volker Buck Process Control of CVD Deposition of Nanocrystalline Diamond Films by Plasma Diagnostics / W. Nicolas. V. Buck // Z. Phys. Chem. 225. 2011. P. 1379–1391.
16. Crintea D. L. Plasma diagnostics by optical emission spectroscopy on argon and comparison with Thomson scattering / U. Czarnetzki, S. Iordanova, I. Koleva, D. Luggenholscher1 // J. Phys. D: Appl. Phys. 42. 2009. P. 045208(11)–045208(25).
17. Paul K. Characterization of amorphous and nanocrystalline carbon films Materials / E. Chu, L. Liuhe // Chemistry and Physics. 2006. V. 96. P. 253–77.
Рецензия
Для цитирования:
Тарала В.А., Титаренко А.А., Белашов И.В., Шевченко М.Ю. СИНТЕЗ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЁНОК УГЛЕРОДА. Вестник Северо-Кавказского федерального университета. 2013;(4):55-60.
For citation:
Tarala V.A., Titarenko A.A., Belashov I.V., Shevchenko M.Yu. DEPOSITION OF NANOCRYSTALLINE CARBON FILMS. Newsletter of North-Caucasus Federal University. 2013;(4):55-60. (In Russ.)
Просмотров:
95
Послать статью по эл. почте 