РФЭС-АНАЛИЗ ПЛЕНОК АЛМАЗОПОДОБНОГО УГЛЕРОДА
Аннотация
В данной работе представлен анализ результатов исследования пленок алмазоподобного углеро-да, синтезированных методами плазмохимического осаждения из углеводородных источников: метана (СН4) и этана (С2Н6). Для исследования влияния условий синтеза на структуру и состав аморфных пленок углерода был применен анализ спектров рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии.
Ключевые слова
аморфный гидрогенезированный углерод,
спектры рентгеновские фотоэлек-тронные,
микрокристаллический,
нанокристаллический,
ультрананокристаллический,
аморфный,
amorphous hydrogenised carbon,
X-ray photoelectron spectra,
microcrystalline,
nanocrystalline,
ultra-nanocrystalline,
amorphous
Об авторах
Роман Витальевич Пигулев
Северо-Кавказский федеральный университет
Россия
Россия
Константин Иванович Сидоров
Северо-Кавказский федеральный университет
Россия
Россия
Виталий Алексеевич Тарала
Северо-Кавказский федеральный университет
Россия
Россия
Сергей Викторович Лисицын
Северо-Кавказский федеральный университет
Россия
Россия
Елена Николаевна Беляева
Северо-Кавказский федеральный университет
Россия
Россия
Мария Викторовна Москвичева
Технопарк «Сколково»
Россия
Россия
Список литературы
1. Валюхов Д. П., Пигулев Р. В., Сидоров К. И., Тарала В. А., Титаренко А.А., Шевченко М. Ю. КРС-анализ пленок алмазоподобного углерода // Сборник научных трудов Sworld. 2013. Т. 11. № 2. С. 55-60.
2. Сидоров К. И., Лисицын С. В., Зубрилов В. Г., Пигулев Р. В., Валюхов Д. П. Методика исследования гидрогенизированного карбида кремния масс-спектрометрией вторичных нейтральных частиц // Вестник Северо-Кавказского федерального университета. 2011. № 1. С. 16-18.
Рецензия
Для цитирования:
Пигулев Р.В., Сидоров К.И., Тарала В.А., Лисицын С.В., Беляева Е.Н., Москвичева М.В. РФЭС-АНАЛИЗ ПЛЕНОК АЛМАЗОПОДОБНОГО УГЛЕРОДА. Вестник Северо-Кавказского федерального университета. 2014;(5):29-34.
For citation:
Pigulev R.V., Sidorov K.I., Tarala V.A., Lisitsyn S.V., Belyaeva E.N., Moskvicheva M.V. XPS ANALYSIS OF DIAMOND-LIKE CARBON FILMS. Newsletter of North-Caucasus Federal University. 2014;(5):29-34. (In Russ.)
Просмотров:
151
Послать статью по эл. почте 