Для цитирования:

Мартенс В.Я., Крандиевский С.О., Никитин И.В. СИНТЕЗ ПЛЕНОК КАРБИДА КРЕМНИЯ ПУТЕМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ В РЕАКТОРЕ С ХОЛОДНЫМИ СТЕНКАМИ. Вестник Северо-Кавказского федерального университета. 2017;(3):24-27.

For citation:

Martens V., Krandievsky S., Nikitin I. CARBIDE FILM FILMS BY CHEMICAL DEPOSITION FROM THE GAS PHASE IN A REACTOR WITH COLD WALLS. Newsletter of North-Caucasus Federal University. 2017;(3):24-27. (In Russ.)