СИНТЕЗ ПЛЕНОК КАРБИДА КРЕМНИЯ ПУТЕМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ В РЕАКТОРЕ С ХОЛОДНЫМИ СТЕНКАМИ
Аннотация
В статье представлена методика получения и первые результаты исследования тонких кристаллических пленок карбида кремния путем осаждения из газовой фазы в реакторе с холодными стенками. В качестве вещества прекурсора использовался триметилхлорсилан, в качестве газа носителя для образования парогазовой смеси использовался азот. Получение пленок производилось на установке химического синтеза Easytube 3000 производителя Firstnano. Получены и исследованы рентгенограммы синтезированных образцов.
Ключевые слова
карбид кремния,
тонкие пленки,
химическое осаждение,
silicon carbide,
thin films,
chemical deposition
Об авторах
Владимир Яковлевич Мартенс
Северо-Кавказский федеральный университет
Россия
Россия
Святослав Олегович Крандиевский
Северо-Кавказский федеральный университет
Россия
Россия
Илья Васильевич Никитин
Северо-Кавказский федеральный университет
Россия
Россия
Список литературы
1. Chelnokov V. E., Syrkin A. L. High temperature electronics using Sic: actual situation and unsolved problems // Materials science and Engineering B. 1997. V. 46. P. 248-253.
2. Хениш Г., Рой Р. М. Карбид кремния / пер. с англ. М.: Мир, 1972. 349 с.
3. Физические методы исследования материалов твердотельной электроники / С. И. Рембеза, Б. М. Синельников, Е. С. Рембеза, Н. И. Каргин. Ставрополь: СевКавГТУ, 2002. 432 с.
4. Chen J., Steckl A., Loboda M. Grows and Characterization of N-doped SiC Films from Trimethylsilane // Materials science forum. 2000. V. 338-342. P. 273-276.
Рецензия
Для цитирования:
Мартенс В.Я., Крандиевский С.О., Никитин И.В. СИНТЕЗ ПЛЕНОК КАРБИДА КРЕМНИЯ ПУТЕМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ В РЕАКТОРЕ С ХОЛОДНЫМИ СТЕНКАМИ. Вестник Северо-Кавказского федерального университета. 2017;(3):24-27.
For citation:
Martens V., Krandievsky S., Nikitin I. CARBIDE FILM FILMS BY CHEMICAL DEPOSITION FROM THE GAS PHASE IN A REACTOR WITH COLD WALLS. Newsletter of North-Caucasus Federal University. 2017;(3):24-27. (In Russ.)
Просмотров:
70
Послать статью по эл. почте 