КОМБИНАЦИОННОЕ РАССЕЯНИЕ СВЕТА В ПРОДУКТАХ КОНДЕНСАЦИИ ИОННО-ЛУЧЕВОГО И МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ГРАФИТА

В статье рассматривается проведение спектроскопического анализа комбинационного рассе-ивания света и анализа атомно-силовой микроскопии для тонких пленок разупорядоченного углерода, осажденных в вакууме на кремниевую подложку с использованием распыления графитовой мишени. Сравнительные эксперименты и измерения проводились в различных условиях как при использовании импульсного магнетронного (Ar, Ar: CH4), так и ионно-лучевого Ar+ метода распыления графита. Были рассмотрены информативные особенности спектров рассеивания света и АСМ изображений нано-структурированных и аморфных пленочных образцов. На основе аналитических данных сопоставлены условия синтеза и спектральные характеристики пленок, а также сделана оценка возможностей спек-троскопии комбинационного рассеивания света как источника данных углеродного материаловедения.

комбинационное рассеивание света, магнетронное распыление, ионно-лучевое распыление, осаждение тонких пленок, разупорядоченный углерод, наноуглерод, АСМ, Raman scattering, magnetron sputtering, ion-beam sputtering, thin film depositing, disordered carbon, nanocarbon, AFM

1. Tamor M. A., Vassell W. C. Raman «fingerprinting» of amorphous carbon films // Journal of Applied Physics. 1994. Vol. 76. Р. 3823-3831.

2. Данишевский А. М., Сморгонская Э. А., Гордеев С. К.,. Гречинская А. В Комбинационное рассеяние света в нанопористом углероде, получаемом из карбидов кремния и титана // Физика твердого тела. 2001. Т. 43. № 1.

3. Воронин П. В., Кривченко В. А., Иткис Д. М., Семененко Д. А., Рахимов А. Т. Пленки нанокристаллического графита, синтезированные в плазме разряда постоянного тока, как материал для электрохимических конденсаторов // Письма в ЖТФ. 2012. Т. 38. № 17. С. 45-52.

4. Krivchenko V. A., Pilevsky A. A., Rakhimov A. T. et. al. Nanocrystalline graphite: Promising material for high current field emission cathodes // Journal of Applied Physics. 2010. Vol. 107. P. 014315.

5. Mani R., Sunkara M., Baldwin R. et. al. Nanocrystalline Graphite for Electrochemical Sensing // Journal of The Electrochemical Society 2005. Vol. 152 (4) P. 154-E159.

6. Itoh K., Miyahara Y., Orimo S. et. al. The local structure of hydrogen storage nanocrystalline graphite by neutron scattering // Journal of Alloys and Compounds. 2003. Vol. 356-357. P. 608-611.

7. Robertson J. DLC review // Materials Science and Engineering. 2002. Vol. 37. P. 129 - 281.

8. Ferrari A. C., Robertson J. Interpretation of Raman spectra of disordered and amorphous carbon. Physical Review B. 2000. Vol. 61/20, P.14095-14107.

9. Tuinstra F., Koenig J. L. Raman Spectrum of Graphite // J. Chem. Phys. 1970. Vol. 53. P. 1126-1131.

10. Караванский В. А., Мельник Н. Н., Заварицкая Т. Н. Получение и исследование оптических свойств пористого графита // Письма в ЖЭТФ. 2001. Т. 74. № 3. C.204-208.

11. Gleiter H. Nanostructured materials: basic concepts and microstructure // Acta mater. 2000. Vol. 48. P. 1-29.

12. Castiglioni C., Tommasini M. Raman spectroscopy of disordered and nano-structured carbon materials: the molecular approach // Opt. Pura Apl. 2007. Vol. 40 (2). P. 169-174.

13. Koos M., Fule M., Veres M., et. al. Multi-band structure of amorphous carbon luminescence // Diamond and Related Materials. 2002. Vol. 11. P. 1115-1118.